Fully automated inverse co-optimization of templates and block copolymer blending recipes for DSA lithography
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저자
Yuhao Zhou, Huangyan Shen, Qingliang Song, Qingshu Dong, Jianfeng Li, Weihua Li
Directed Self-Assembly of Block Copolymers for Sub-7nm Technology Nodes
개요
블록 공중합체의 지향성 자기 조립(DSA)은 7nm 이하 기술 노드에서 접촉 홀 또는 수직 상호 연결 액세스를 제작하는 데 매우 유망한 접근 방식입니다. 정확하게 제어된 크기와 위치의 원형 홀을 제작하기 위해 블록 공중합체의 자기 조립은 적절하게 설계된 템플릿의 안내가 필요합니다. 효율적인 최적화를 가능하게 하는 템플릿 모양을 효과적으로 매개변수화하는 것은 여전히 중요하지만 어려운 문제입니다. 또한 최적화된 템플릿은 실제 적용을 위해 우수한 제조 가능성을 가져야 합니다. 이 연구에서는 단 두 개의 매개변수로 템플릿 모양을 특징짓는 가우시안 디스크립터를 제안합니다. 또한, 템플릿 모양에 대한 블록 공중합체 시스템의 적응성을 향상시키기 위해 순수 이중 블록 공중합체 대신 AB/AB 바이너리 블렌드를 사용하는 것을 제안합니다. 베이지안 최적화(BO)를 바이너리 블렌드와 템플릿 모양을 공동 최적화하는 데 적용했습니다. 연구 결과, 가우시안 디스크립터 기반의 BO가 다양한 멀티홀 패턴에 대한 최적의 템플릿을 효율적으로 생성할 수 있으며, 모두 매우 일치하는 자기 조립 형태를 보였습니다. 또한 최적화 과정에서 템플릿 곡률 변화에 제약을 가함으로써 각 최적화된 템플릿에 대해 우수한 제조 가능성을 보장합니다. 블렌드의 각 주요 매개변수는 상당히 높은 정밀도 요구 사항 하에서 비교적 넓은 조정 가능 창을 나타내는 것이 특징입니다. 이 연구는 DSA 기술 발전에 대한 귀중한 통찰력을 제공하여 잠재적으로 실제 적용을 앞당길 수 있습니다.
시사점, 한계점
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가우시안 디스크립터를 사용한 템플릿 모양의 효율적인 매개변수화.
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AB/AB 바이너리 블렌드를 사용하여 블록 공중합체 시스템의 템플릿 모양 적응성 향상.
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베이지안 최적화(BO)를 통한 바이너리 블렌드 및 템플릿 모양의 공동 최적화.
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다양한 멀티홀 패턴에 대한 최적의 템플릿 생성 및 일치하는 자기 조립 형태.
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템플릿 곡률 제약 조건을 통한 우수한 제조 가능성 보장.
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블렌드 매개변수의 넓은 조정 가능 창.
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DSA 기술 발전에 대한 통찰력 제공 및 실제 적용 가능성 증대.
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논문의 한계점에 대한 내용은 제시되지 않음.
