주식하는_토니
2024.03.10. 실리콘카바이드 반도체에 적용되는 림컷 기술 개발 완료..
관련 장비를 연내 상용화하는 것을 목표..
림컷 기술은 초박막 웨이퍼 절단 기술로 고전력 반도체인 IGBT 생산 공정에 사용되고 있음..
고전력반도체는 두께가 얇을수록 전력 저항이 낮고 발열을 방지할 수 있음..
이 제품은 일정 수준 이상 얇아지면 웨이퍼가 말리는 문제가 발생..
웨이퍼의 테두리인 림 부분을 남겨놓고 테스트 후 림컷 공정을 통한 제거가 필수..
기존의 블레이드 방식은 수율이 60% 수준, 림컷 방식은 90% 이상인 듯..
림컷 기술은 초박막 웨이퍼 절단 기술로 고전력 반도체인 IGBT 생산 공정에 사용되고 있음..
고전력반도체는 두께가 얇을수록 전력 저항이 낮고 발열을 방지할 수 있음..
이 제품은 일정 수준 이상 얇아지면 웨이퍼가 말리는 문제가 발생..
웨이퍼의 테두리인 림 부분을 남겨놓고 테스트 후 림컷 공정을 통한 제거가 필수..
기존의 블레이드 방식은 수율이 60% 수준, 림컷 방식은 90% 이상인 듯..
